プラズマ浸炭

プラズマ浸炭装置

プラズマ浸炭装置は、熱エネルギーに加え、直流グロー放電によるプラズマの電気化学作用を利用して、金属材料表面に炭化物を形成させ、機械的強度を向上させるプラズマ熱処理装置です。

産業界における省エネルギー・省資源・エレクトロニクス化など、めざましい技術革新の発展とあいまって工業部品の品質はこれまでにない厳しさを求められており、高機能・高品質の熱処理への需要が飛躍的に高まっています。

プラズマ浸炭装置

当社が開発したプラズマ浸炭法は、「クリーンな作業環境」の中で高効率かつ高精度の安定した品質が得られ、従来の浸炭法では不可能とされていた「高濃度浸炭」や「難浸炭材への応用」などに優れた特徴が認められ、その幅広い実用化への道が拓かれました。

PMF-754型プラズマ浸炭装置

プラズマ浸炭とは

被処理物を真空炉内でヒーターにより浸炭温度まで加熱します。次に炉体・断熱材を陽極、被処理物を陰極とし、メタンやプロパンといった炭化水素系ガスを含む133～400Pa程度の希ガス雰囲気中で両極間に数百ボルトの直流電流を印加し、グロー放電を発生させます。グロー放電で生じたプラズマ中での種々の電気化学的作用により、炭化水素系ガスなどのイオンが被処理物表面に作用し浸炭が行われます。

加熱源には主にヒーターを用いますが、イオンによる浸炭と同時に被処理物表面の活性化やクリーニングといったプラズマの効果により他の浸炭技術にない特性が得られます。