イオン窒化（プラズマ窒化）

イオン窒化（プラズマ窒化）装置

プラズマ（イオン）窒化法は、1932年ドイツにおいてB.Berghausにより発明され、1967年頃よりドイツ及びスイスで企業化されはじめました。当社では、新時代の熱処理としてプラズマ（イオン）窒化法にいち早く着目、独自の研究開発を行い、昭和48年国産第一号機を完成、わが国で初めてイオン窒化装置の製造及び受託加工を開始しました。

イオン窒化（プラズマ窒化）装置

現在、装置販売台数は海外を含めてトップメーカーとしての実績を収め、JINシリーズはその安定した性能と高い信頼性、使いやすさなどの点で高い評価を得ています。また、処理技術などに関しても、独自に開発した処理法と豊富な技術データに基づいてユーザーの皆様に指導・アドバイスさせていただいております。さらに、メンテナンスなどのアフターサービスにつきましても、万全の体制を整え、ユーザーのご要望にお応えしています。

イオン窒化（プラズマ窒化）装置の特長

特長1化学反応作用によらず、イオン化された窒素ガスによる窒化処理のため、公害対策などの特別な設備の必要がなく、作業環境は極めて良好です。

特長2イオン化したガスのスパッタリング作用を利用するため、従来の窒化処理に比較して処理時間を著しく短縮できます。

特長3グロー放電により直接加熱を行うため、特別に加熱・保温設備は必要とせず均一な温度分布が得られます。加熱効率は、ヒーター加熱方式に比べ2倍以上向上し、省エネルギーに寄与します。

特長4ガス消費は極めて少なく、ランニングコストの低減化を図れます

特長5窒化処理は380℃からできます。また、チタンなどの処理では、850℃といった高温処理も行うことができます。

特長6真空中での処理のため、処理後の状態は無酸化状態で得られ、表面粗さの低下も僅少です。さらに低温処理のため歪量は極めて少なく、後工程も必要とせず仕上がり品の処理に最適です。

特長7N2・H2・Xガスそれぞれのガス比を調節することで化合物層の組成が自由にでき、目的に合わせた機械的性質が得られます。

特長8材質や前処理条件ごとに最適な窒化条件が選択でき、窒化防止も容易にできます。

イオン窒化装置標準タイプ

型式	JIN-1SB	JIN-3SC-A	JIN-3SC-B
電源入力［V（三相）‐ｋVA］サイリスタ方式 DCパルス方式	200-20 200-24	200-45 200-55	200-45 200-55
電源出力［DC　V×A］	800×13	800×35	800×35
炉体内寸法［mm］（φ×H　or L）	500×600	700×1000	800×1000
最大処理能力［kg］［（治具を含む）㎡］	100 0.65	300 1.75	300 1.75
温度制御方式	赤外線放射温度計を用いる自動温度制御方式

型式	JIN-6SB	JIN-10SB	JIN-10SC
電源入力［V（三相）‐ｋVA］サイリスタ方式 DCパルス方式	200-90 200-110	200-140 200-170	200-140 200-170
電源出力［DC　V×A］	800×75	800×130	800×130
炉体内寸法［mm］（φ×H　or L）	910×1500	910×2500	1300×1225
最大処理能力［kg］［（治具を含む）㎡］	1000 3.75	2000 6.5	2000 6.5
温度制御方式	赤外線放射温度計を用いる自動温度制御方式

型式	JIN-10SH	JIN-15SB	JIN-20SB
電源入力［V（三相）‐ｋVA］サイリスタ方式 DCパルス方式	200-140 200-170	200-210	200-280
電源出力［DC　V×A］	800×130	800×188	800×250
炉体内寸法［mm］（φ×H　or L）	1200×1600	1300×2000	1300×3000
最大処理能力［kg］［（治具を含む）㎡］	2000 6.5	3000 9.4	3000 12.5
温度制御方式	赤外線放射温度計を用いる自動温度制御方式